磁控溅射二氧化硅电压多少算正常?

磁控溅射二氧化硅时电压一般在200到500伏之间算正常。具体数值取决于设备型号和工艺参数，比如靶材材质、真空度、气体流量等因素。实际操作中需要通过实验调整，确保薄膜均匀性和附着力达标。电压过高会导致靶材过热，过低则溅射效率低，影响生产效率。

日常生产中，电压稳定在300伏左右较为常见。操作人员需监控电流和电压变化，避免波动过大影响产品质量。不同厂家设备设置略有差异，建议参考设备说明书或咨询技术支持。定期维护设备也能保证电压输出稳定，延长使用寿命。