中国28纳米光刻机是哪家公司研发的?

中国28纳米光刻机由上海微电子装备有限公司研发。这家公司专注于光刻机技术，经过多年努力，成功突破关键技术，实现了28纳米工艺的国产化。研发过程中，团队克服了诸多困难，包括精密零件制造和系统集成，最终完成样机测试，性能达到国际先进水平。

上海微电子是中国光刻机领域的龙头企业，拥有多项专利技术。28纳米光刻机的研发成功，标志着中国在半导体制造设备上取得重大突破。目前，该设备已进入小批量生产阶段，未来将逐步应用于芯片制造行业，助力国内半导体产业链自主可控。