国产光刻机有哪几家在研制?

中国研制光刻机的企业有上海微电子、中芯国际、华为、华卓精科和北方华创等。上海微电子研发的28纳米光刻机已进入测试阶段，中芯国际专注于先进制程设备，华为联合高校攻克关键技术，华卓精科专注双工件台系统，北方华创提供刻蚀和薄膜沉积设备。

这些企业分布在长三角和京津冀地区，获得国家和地方资金支持。上海微电子计划2025年推出14纳米设备，中芯国际已建成多条试验线，华为投入数十亿元研发，华卓精科专利数量突破200项，北方华创年产能达500台套。国产光刻机技术逐步成熟，但与国际顶尖水平仍有差距。