时间:01-19人气:30作者:清茶友人
中国并非做不出光刻机,只是技术积累和产业链需要时间突破。上海微电子已研发28纳米光刻机,中芯国际实现14纳米量产,国产光刻机正逐步追赶国际水平。荷兰ASML的7纳米光刻机售价超12亿人民币,国产化进程还需更多资金与人才投入。
光刻机制造涉及超精密光学、机械控制等数千项技术。中国科学家在光刻镜头、工件台等领域取得突破,但高端EUV光刻机仍依赖全球供应链。华为、中科院等机构持续投入研发,预计未来5年国产光刻机将实现更先进制程的突破。
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