分子泵气流倒灌会损坏吗?

分子泵气流倒灌会损坏设备。气流倒灌会导致轴承过热、叶片变形，甚至电机烧毁。倒灌时真空度骤降，空气中的灰尘颗粒进入泵体，加剧磨损。严重时需要更换整个泵组，维修成本高达数万元。

预防倒灌的方法包括安装止回阀、定期检查密封圈。操作人员需规范开关泵顺序，避免突然断电。分子泵价格昂贵，日常维护能延长使用寿命。倒灌事故虽不常见，但后果严重，必须重视。