时间:01-19人气:13作者:求带走
真空泵分为前级泵和主泵,前级泵负责初步抽气,将容器内的空气抽到一定真空度,比如机械泵或旋片泵。主泵则进一步抽走残余气体,达到更高真空,如分子泵或扩散泵。前级泵为主泵提供基础真空,两者配合使用才能实现高效抽气。
前级泵体积小、成本低,适合粗抽阶段;主泵抽气能力强,但依赖前级泵支持。没有前级泵,主泵无法工作;没有主泵,真空度难以提升。常见组合有机械泵+分子泵,或干泵+罗茨泵,根据需求选择搭配。
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