ebsd是什么仪器?

EBSD是电子背散射衍射仪，用于分析材料的晶体结构和取向。它可以快速测量晶粒尺寸、相分布和织构，广泛应用于金属、陶瓷和半导体领域。该仪器结合扫描电镜，通过电子束与样品作用产生衍射图案，精确表征微观组织特征。

EBSD样品制备要求高，需表面平整无污染。测试时样品倾斜70度，电子束激发产生菊池带，软件自动分析晶格参数。该技术分辨率达纳米级，能识别孪晶、晶界和相变，为材料科学研究提供关键数据支持。