白光干涉仪是什么?

白光干涉仪是一种高精度的测量仪器，利用白光干涉原理来检测物体表面的微观形貌。它可以测量薄膜厚度、表面粗糙度等参数，广泛应用于半导体、光学和精密制造领域。这种仪器通过分析干涉条纹的变化，能快速获得纳米级的测量结果，精度可达几纳米。

白光干涉仪的工作原理是让白光分束后产生干涉，通过移动参考镜找到零光程差点。它不需要复杂的算法，单次测量就能完成数据采集。设备操作简单，适合实验室和工厂环境使用。相比传统干涉仪，它抗干扰能力强，对光源稳定性要求低，测量效率更高。