镀膜沉积速率高会怎么样?

镀膜沉积速率高会导致薄膜生长过快，涂层均匀性变差，容易出现针孔、裂纹等缺陷。设备能耗增加，生产成本上升，材料浪费严重。高速沉积还可能引发靶材过热，缩短使用寿命，影响薄膜附着力。

沉积速率过高时，薄膜致密性下降，光学性能和机械强度都会打折扣。工艺控制难度加大，参数调整不及时就会报废产品。长期高速运行还会加速设备损耗，维护频率提高，影响生产稳定性。