euv光刻机很难制造吗?

EUV光刻机制造极其困难，需要上千个精密零件，每个零件误差不超过几纳米。一台机器造价超过1.5亿欧元，研发耗时超过20年。全球只有少数国家掌握技术，生产一台需要数月时间。零件来自世界各地，组装环境要求极高，空气中的灰尘会影响精度。这种机器是芯片制造的顶尖设备，技术壁垒极高。

EUV光刻机使用极紫外光，波长仅13.5纳米，比普通光刻机精细百倍。光源功率达250瓦，相当于数千个灯泡同时工作。镜面反射率需超过99%，表面粗糙度小于0.1纳米。每台机器重达180吨，运行时需真空环境，温度变化不能超过0.01度。这些要求让制造过程充满挑战，全球每年仅能生产几十台。