光刻机难点是什么?

光刻机难点在于制造极其精密的光学系统，镜头误差要小于几纳米，相当于头发丝的万分之一。同时，设备需要稳定运行，震动或温度变化都会影响精度。一台高端光刻机包含上万个零件，每个零件都要达到最高标准，组装过程复杂无比。

光刻机还依赖尖端技术，如极紫外光光源，这种光源功率大且易损坏。控制系统的算法必须实时调整参数，确保晶圆曝光均匀。全球只有少数企业掌握完整技术，供应链也受严格限制，生产一台设备需要数年时间，成本高达数亿元。