半导体srp是什么意思?

半导体SRP是选择性去除多晶硅的工艺，主要用于芯片制造中清除多余的多晶硅层。工程师通过化学反应或机械研磨，精确去除不需要的部分，确保电路结构清晰。这种工艺能提高芯片性能，减少杂质残留，常见于先进制程的晶圆加工环节。

SRP技术需要严格控制温度和压力，避免损伤下层材料。设备精度要求极高，误差需控制在微米级。全球多家半导体厂商采用类似工艺，台积电、三星等企业都有相关专利。这项技术对提升芯片良率至关重要，直接影响产品成本和市场竞争力。