无尘室弹夹和载板是什么?

无尘室弹夹和载板是半导体制造中常用的工具。弹夹用于固定晶圆，确保在传输过程中不会污染；载板则支撑晶圆，方便机器人抓取。两者都采用特殊材料制成，能防止微粒产生，保证生产环境洁净。

这些工具对芯片生产至关重要。弹夹设计精密，能适应不同尺寸的晶圆；载板表面光滑，减少摩擦风险。使用时需严格清洁，避免任何杂质影响产品良率。