光刻机的对准系统是什么?

光刻机的对准系统是确保芯片制造精度的核心部件，通过激光和传感器实时调整晶圆与掩模版的位置误差。系统会测量标记点偏差，驱动机械台微米级移动，保证电路图案准确重叠。

这套系统包含光学镜头、图像处理算法和精密执行器，每秒处理数千次数据。现代光刻机对准精度达纳米级，相当于头发丝直径的万分之一。没有它，芯片上的电路就会错位，导致电子设备无法正常工作。