光刻机是用于什么材料?

光刻机主要用于加工硅片、晶圆等半导体材料，还能处理玻璃、陶瓷等脆性材料。高精度光刻机能在芯片表面刻出纳米级线条，一块晶圆可制作成数千个芯片。光刻机还用于制造太阳能电池板、显示屏基板，甚至能加工金属薄膜和生物芯片材料。

光刻机使用的光源有紫外光、深紫外光和极紫外光，不同光源对应不同加工精度。一台先进光刻机包含光学系统、曝光台和精密控制系统，每小时可处理数百片晶圆。光刻技术还用于制造MEMS器件、光学元件和微流控芯片，涉及材料范围覆盖金属、聚合物和复合材料。